真空バルブの世界標準、VAT社のミニUHVゲートバルブです。
VAT社独自のMONOVAT機構により、ショックフリー、パーティクルフリーな動作で、高真空を保ちます。 軸シールはベローズ、ボンネットシールはメタルを使用しています。
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基本情報
●フランジサイズ:ICF70、NW25KF、NW40KF、NW50KF ●アクチュエータ:手動式、圧空式(複動、単動) ●オプション:リミットスィッチ、電磁弁 ●使用圧力範囲:0.2MPa~10e-8Pa
価格情報
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納期
用途/実績例
超高真空機器関係 真空・光部品・科学機器 省力製造・生産・情報機器 計測機器・電源
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