高品位研磨テープによる低Raの実現
Siウェーハ、化合物ウェーハのベベル、ノッチ、オリフラに対応したフルスペックのテープ式精密研磨装置です。
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基本情報
【特徴】 ●様々なプロセスに対応 ●膜質を選ばない研磨が可能 ●スラリー負荷の軽減 ●100％ケミカルフリー ●クラス1000対応 ※詳しくはお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
半導体ウェーハの研磨
企業情報
当社は設立以降半導体、液晶の業界で精密研磨メーカーとして技術、ノウハウを蓄積して参りました。 そのノウハウを生かし、 金属の精密研磨はもちろんのこと半導体ウェーハ研磨や化合物半導体研磨、半導体、液晶パネル、シャフト研磨、試料研磨等の業界に精密研磨装置を供給しております。 日本製だからこそ和歌山県製だからこその痒いところに手が届く仕様 設計・電気・資材・製作・営業全てを自社で行うからこそ特注仕様にも柔軟に対応しております。 また制御部門では自社装置に限らず、お客様既設装置のメンテナンスや設備改修、PLCリプレースなど、装置開発で培った技術を提供します。自社設計の装置メーカー/分野にとらわれることなくお客様第一主義をモットーに精進しております。 研磨で困ったらまずIMTにお声がけください。
