当社のESCAは X 線プローブ径を5μmまで絞ることができます。
400LPI の銅メッシュ（メッシュ間隔：63.5μm）をマイクロ ESCA （Quantum-2000）により分析した例を紹介します。 二次電子像から分析視野を指定してその領域の銅の面分析を行いましたが、 二次電子像に対応した銅の分布が得られました。 さらにこのデータから測長機能を利用してメッシュ間距離などを測ることが できます。 また、通常のESCAでは X 線プローブ径が1mm 程度ですが、当社のESCAは X 線プローブ径を5μmまで絞ることができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
