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磁気浮上型ベアリングレス BPS-4000

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最終更新日:2016年01月21日

Levitronix Japan株式会社
Levitronix Japan株式会社
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Better pump for Better Yields !

BPS-4000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、2種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。 詳しくはお問い合わせください。

    特殊ポンプウエハ加工/研磨装置
Levitronix

磁気浮上型ベアリングレス BPS-4000

Levitronix BPD4000.jpg
Levitronix BPD4000.jpg
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基本情報

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10~50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受・バルブ・軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高められる ○磁気軸受内蔵のため汚染リスクが減少 ○剪断等で影響を受けやすい流体に対し穏やかなポンプ ○粒子やコンタミがポンプ内に滞留しにくい構造 ○脈動がない、スムーズな定常流が得られる ○省スペース化を実現 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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用途/実績例

【用途・実用例】 ○半導体ウェットプロセス ○フリップチップ・先端パッケージング ○太陽電池製造 ○FPD製造 ○磁気ディスク基板製造 ○印刷用インク ○薬品製造 など ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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  • Levitronix

    ベアリングレスポンプシステムBPS-4000 より良い歩留まりを得るためにより良いポンプを!!

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS4000

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS2000

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS200

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レビトロニクスは、世界的な磁気浮上ベアリングレスモータ技術分野のリーダーで、医療分野における血液ポンプならびにエレクトロニクス産業(半導体・液晶・太陽電池)、ライフサイエンスおよび産業界の用途に超清浄流体移送やスラリー分を含む研磨剤移送のソリューションを提供しています。 特許技術により、モータと磁気軸受を単一のユニットの製品にしているので、コンパクトで高い信頼性、長寿命と厳しい環境でのクリーンな流体やスラリーを含んだ流体の移送に能力を発揮します。 レビトロニクスは、汚染の無い流体移送、混合又は流量制御を長期間にわたり要求される用途に理想的な解決策を提供します。 レビトロニクスの本社は、スイス連邦チューリッヒにあり、アメリカ、台湾に事務所を持ち各地域のサポートを行っています。

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