自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理
回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供します。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現 ○ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にする ○自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供 【ラインナップ】 ○アデカエイフェススーパー装置 →用途：新規エッチング薬剤用自動管理装置 ○アデカケルミカ ＴＦＥ－３０００シリーズ →用途：ＣＯＦ用ファインエッチング ○アデカケルミカ ＴＦＥ－５０００シリーズ →用途：サブストレート用ファインエッチング ○アデカリムーバー ＮＲシリーズ →用途：Ni-Crシード除去剤 ○アデカケルミカ ＡＤシリーズ →用途：セミアディティブ工法用クイックエッチング液 ○アデカケルミカ Ｗシリーズ →用途：ウエハレベルＣＳＰ製造工程用選択エッチング液 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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企業情報
2006年5月１日に旭電化工業株式会社から「株式会社ADEKA」（英文表記：ADEKA CORPORATION）に社名を変更。 当社グループは、「新しい潮流の変化に鋭敏であり続けるアグレッシブな先進企業を目指す」「世界とともに生きる」を経営理念として、世界市場で競争力のある技術優位な製品群を中心にグローバルな事業展開を加速しています。 独自性のある優れた技術で、成長分野に注力するとともに、当社グループの得意分野でのナンバーワン企業を目指し、時代の最先端を行く製品と顧客ニーズに合った製品を提供することにより、世界に貢献していきます。