３００ｍｍウエハーでワンショット1秒で検査
高精度ウエハークラック検査装置「スーパーマクロSM75」は、３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に、赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○自動検査可能 ○スタンドアロンタイプもラインナップ ○マニュアルでの検査が可能 ○任意のスライスレベルを設定可能 ○ソーマーク除去機能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○パターン付きウエハークラック検査 ○ベアウエハークラック検査 ○ウエハーエッジダメージ検査 ○ＢＧ研磨痕の評価 ○スラリーの評価 ○ガラス基盤の応力残り ○ストレスレリーフの評価 ○ＢＧテープのテンション検査 ○化合物ウエハーの歪みや傷検査 ○レンズや光学部品の脈離検査 ○圧力による各種ワークの応力歪 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。
