300mウエハーで1ショット1秒で検査可能。全自動化検査ラインにも採用。
スーパーマクロ SM75は300mmウエハーでワンショット1秒で検査でき、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも採用されております。小型視野の光学系からラインアップしており、オプション光源に赤外線をもちいることにより内部のボイド検査にも応用できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【主な特長】 ○短時間検査 →300mｍウエハーでワンショット1秒で検査可能 →検査時間が短いため全自動化検査ラインにも採用されている ○小型視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できる ○近年ウエハーの薄型化が進んでいるがBG加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置 ○自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしておりマニュアルでの検査が可能 ○任意のスライスレベルを設定できたニーズに合った検査が可能 ○用途によりソーマーク除去機能も有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜きだす ○一般的な撮影と違い被写体に与える光が「平行光速」 →平面の繊細な凹凸を像の濃淡に変換して自動検査する ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。
