バラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置
ウェハに印字されたロットナンバーを読み取り、生産工程で順番がバラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置です。昇順・降順の整列はもちろん、必要ウェハの抜き取り、１個のカセットから２個への分割、２個から１個への集約など３０パターンのレシピ設定が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○抜群の使い勝手 →必要な操作は全てタッチパネルでの操作（非常停止ボタン除く） ○高メンテナンス性 →専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター（３軸）など汎用品を用いて実現 →専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能 ○低コスト →専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現 →保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事が可能
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