半導体プロセスで使用されるオゾン添加純水中のオゾン濃度計測に最適
OD-UNDシリーズは、半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をモニターする紫外線吸光光度方式の液相用計器です。 機能においては必要最低限の機能と必要不可欠な機能を融合させ、それぞれの特長を最大限に発揮できるような構造と校正が容易にできるようなシステムを採用いたしました。 小型軽量、リアルタイム測定方式、ゼロ調整・内蔵のチェック板によるスパン調整が可能などの特徴があります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○小型軽量 →変換器、検出器分離型（保護等級 IP44相当） ○リアルタイム測定方式 →オゾン水を、リアルタイムで直接測定が可能 →独自のセル構造により圧力損失が少なく、耐圧性に優れ、気泡の影響をうけない構造 ○操作性 →ゼロ調整・内蔵のチェック板によるスパン調整が可能 →メンテナンス性の向上を目的としたアタッチメントセルの採用により、 補正係数入力のスパン調整が可能 ○出力 →4～20mA測定出力 →ランプ劣化オープンコレクタ出力（ランプ表示） →表示器ユニットによる濃度表示（校正用：オプション） ○測定範囲：0～10/30/60/120/200mg/L から1レンジ ○測定方式：紫外線吸収方式 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
【用途】 ○半導体プロセスで使用されるオゾン添加純水中のオゾン濃度計測に最適 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
弊社は、東北大学大見教授の永年のご指導により開発しました、溶存オゾン計をメインに製造・販売しています。 最先端分野に生かすアイデアをモットーに、今後も、お客様のお役に立てる製品作りを進めてまいりますので、よろしくお願いいたします。
