半導体製造プロセスで使用されるオゾン添加純水中のオゾン濃度計測に最適
OM-101型シリーズは、半導体製造プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をモニターする計器です。 設置が簡単で場所をとらず、操作性も優れています。 小型軽量、インラインタイプの検出器、シンプル構造で取り扱いが極めて容易などの特徴があります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○小型軽量 →変換器、検出器分離型 →変換器はDIN 96×96mmのパネル取付けタイプ ○インラインタイプの検出器 →煩わしいサンプリング作業は必要無し →連続測定なので濃度がリアルタイムで確認可能 ○操作性 →シンプル構造で取り扱いが極めて容易 ○出力 →4～20mA測定値出力 →上・下限の警報出力を各々標準で装備 ○測定範囲：0～1mg/L ○測定方式：紫外線吸収方式 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
【用途】 ○半導体製造プロセス等で使用されるオゾン添加純水中のオゾン濃度計測に最適 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
弊社は、東北大学大見教授の永年のご指導により開発しました、溶存オゾン計をメインに製造・販売しています。 最先端分野に生かすアイデアをモットーに、今後も、お客様のお役に立てる製品作りを進めてまいりますので、よろしくお願いいたします。
