190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する、全自動式露光装置です。 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり、自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで、毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました。 特に、新開発のアライメント画像処理には、任意座標指定のサーチおよび、インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました。また、安定した視認性を実現するために、顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により、照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています。 オペレータはフォトマスクとウエハをセットし、あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで、ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ、露光までをオートで行うことから、オペレータや使用経験に依存しない、安定した精度での露光が可能です。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
主な特長 1.定評のある500Wマルチライト光源を搭載しています。 2.基板供給、アライメント、露光、基板排出を自動で行うとともに、ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現しています。 3.マスクとウエハの平行出しは、補正機能板で露光ごとに可能です。 4.レシピにより登録された10個のリトライ座標を順番にサーチする、画像処理インテリジェントサーチ機能を採用しています。 5.ファースト露光用のラインアライメント機能を搭載しています。 6.露光方式は、ソフトコンタクト、プロキシミティ、ハードコンタクト(真空密着)から選択できます。 7.2インチウエハと4インチウエハの段取り換えも容易に行えます。 8.顕微鏡のハロゲン照明は、画像処理により、つねに最適な明るさで保たれるとともに、低コントラストマークに対応します。 9.トラブルのエラーメッセージを操作パネルに表示します。
価格情報
オープン
納期
用途/実績例
エレクトロニクス分野 ●マイクロデバイス -半導体、各種デバイス、センサ(ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程)など ●LED
詳細情報
-
製品の主な特長 基板供給、アライメント、露光、基板排出を自動で行うとともに、ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現
カタログ(1)
カタログをまとめてダウンロードこの製品に関するニュース(9)
企業情報
半世紀以上にわたる歴史のなかで、磨きつづけてきた技術力と製品力。 これらにウシオ独自の提案力を融合させ、 次代を切り拓くソリューションとして社会と市場に提供します。 今後さらなる進化が期待される光と産業のビジネスドメインで、 私たちは、持てるすべての力を最大限に発揮し、 お客さまと社会の発展に貢献します。