顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量露光､自動退避までを行います｡
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基本情報
主な特長 1.フォトマスクとウエハの平行出しは､ウエハテーブルを空気の層で浮遊させ､アライメント機構部に内蔵されたエアバネでフォトマスクに正確にコンタクトする方式を採用しています｡ 2.アライメント顕微鏡は､アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能です(ロック機構付)。 3.アライメント顕微鏡はズーム式の高倍率タイプで､照明はレジストにより色の選択が可能なLED照明を搭載しています｡ 4.作業のタクトを高めるために､ランプハウスとアライメント顕微鏡が自動で挿入､退避することから､生産性アップを実現します｡
価格情報
オープン
納期
用途／実績例
エレクトロニクス分野 ●マイクロデバイス －半導体､各種デバイス､センサ(ウェハ､ガラス基板などのフォトリソ工程)など ●LED
詳細情報
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製品の主な特長 写真左：アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能な顕微鏡､写真中央：ロック機構の付いたアライメント顕微鏡､写真右：照明はレジストにより色の選択が可能なLED照明を搭載
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企業情報
半世紀以上にわたる歴史のなかで､磨きつづけてきた技術力と製品力｡ これらにウシオ独自の提案力を融合させ､ 次代を切り拓くソリューションとして社会と市場に提供します｡ 今後さらなる進化が期待される光と産業のビジネスドメインで､ 私たちは､持てるすべての力を最大限に発揮し､ お客さまと社会の発展に貢献します｡
