MEMS開発ツール・精密アライメントのナノテック
『MEMS開発プロセス装置』では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「片面マスクアライナー」や、両面プロセスのローコストアシストモデル「正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスのスタンダード量産機「両面同時露光マスクアライナー」、自動化・量産化のカスタム対応装置「オートマスクアライナー」、専用露光装置「カスタムマスクアライナー」、カスタム設計対応の「アライメント固定装置」、独自のクランプ機構を用いた「精密アライメントホルダー」、精密転写装置で低残膜・低バブルの「UVナノインプリンター・マイクロコンタクトプリンター」、業界スタンダードの「汎用スプレーコーター」、オンリーワンのローコストマスク作製機「簡易マスク作製機」など多数掲載しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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【掲載製品】 [マスクアライナー］ ○片面マスクアライナー LA series →コンパクトな微細露光のスタンダード機 ○正面マスクアライナー BA series →両面プロセスのローコストアシストモデル ○両面同時露光マスクアライナー BS series →両面・多面プロセスのスタンダード量産機 ［自動アライメント露光装置］ ○オートマスクアライナー AE series →自動化・量産化のカスタム対応装置 ［専用露光装置］ ○カスタムマスクアライナー ES series ［仮止め装置］ ○アライメント固定装置 MA・AMA series →カスタム設計対応 ○独自のクランプ機構を用いた精密アライメントホルダー ［精密転写装置］ ○UVナノインプリンター →低残膜・低バブル ○マイクロコンタクトプリンター →次世代デバイス製作手法として注目を集めるmCP法に対応 ［コーター］ ○スプレーコーター DC series ［ガラスマスク作製機］ ○簡易マスク作製機 MM605 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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