豊富な実務経験に基づくウェットエッチング技術と、メカニズム・影響因子の最先端研究を解説!
○発刊日2008年07月30日○体裁B5判上製本 223頁○価格：本体 55,000円 →STbook会員価格：52,190円＋税○著者：松本 克才 八戸工業高等専門学校 / 高井 健次 日立化成工業(株) / 多田 修 平井精密工業(株) / 石川 典夫 関東化学(株) / 式田 光宏 名古屋大学 / 篠田 和典 (株)日立製作所 / 渡慶次 学 名古屋大学 / 菊谷 善国 マイクロ化学技研(株) / 小国 隆志 東レエンジニアリング(株) / 石井原 耕一 東洋クロス(株) / 山村 和也 大阪大学 / 竹中 敦義 旭硝子(株) / 青山 哲男 林純薬工業(株) / 猪原 康正 (株)石井表記 / 板谷 謹悟 東北大学 / 八尾 秀樹 住友電気工業(株) / 鍛示 和利 (株)日立製作所
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基本情報
第1章 ウェットエッチングのメカニズムとエッチング速度・精度への影響因子 第1節 銅ウェットエッチングのメカニズムと影響支配因子 第2節 銅エッチング液の特性と速度支配因子 第3節 金属・合金ウエットエッチング処理の最適化 第4節 透明導電膜(ITO)ウェットエッチングの課題と対策技術 第5節 異方性ウェットエッチング加工のメカニズムと処理の最適化 第6節 化合物半導体のウェットエッチング技術 第7節 ガラスのウェットエッチング-マイクロ化学チップの作製法 第8節 ポリイミドのウェットエッチング 第9節 PETフィルムのウェットエッチング 第10節 ローカルウエットエッチング法による光学素子の高精度加工 第11節 BMのCrエッチング液の性能評価 第2章 エッチング液・浴の管理と最適化 第3章 ウェットエッチング装置の種類・特徴とエッチング処理のポイント 第4章 高度先端技術化への展望
価格情報
本体 55,000円＋税 →STbook会員価格：52,190円＋税
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
2・3日
用途／実績例
先端技術
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S&T出版は、研究者・技術者に向けた技術専門書籍を出版しています。