好評につき改訂版完成! 感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製造、品質管理にかかわる方にお薦め!
○発刊日2012年03月09日○体裁B5判並製本 250頁○価格：本体 10,000円＋税 →STbook会員価格：9,500円＋税 ○関口 淳 リソテックジャパン(株)
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基本情報
第1章 リソグラフィーの概要 第2章 フォトレジストの塗布 第3章 露光技術 第4章 露光後ベーク(PEB)と現像 第5章 g線,i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術 第6章 KrF・ArF用フォトレジストの評価技術 第7章 ArF液浸レジスト・ダブルパターニング(DP)プロセスの評価技術 第8章 EUVレジストの評価技術 第9章 ナノインプリント・プロセスの最適化とその評価
価格情報
本体 10,000円＋税 →STbook会員価格：9,500円＋税
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
2・3日
用途／実績例
材料などのメーカー
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S&T出版は、研究者・技術者に向けた技術専門書籍を出版しています。