洗浄後基板の異物検査やガラス基板の内部欠陥検査、透明電極パターンの測長検査などに最適
多様化する産業界の各種製品のパネル基板やフィルム、半導体部品の 微少欠陥を最新のラインセンサ外観検査システムで検査します。 最新の光アライアンス技術によりメカニカル・オプチカル・画像処理を融合し、 独自な高速/高精度検査機を提案します。 この外観検査機はミクロからマクロまでの検査ユニットを搭載して各種検査への 対応と、複合機能で検査とレビューや加工、調整などのユニットを目的に合わせて 構築することができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【ラインナップ】 ○Model 3000 検査ステーション →300mmまでのワークに対応 →２機の機能搭載を搭載できるＷＡスタンドつきで複数の検査ユニットの搭載や、加工/修正などに使える共通ステーション ○Model 3001 ミクロ検査 →顕微鏡倍率での超高精度検査の自動化と高速化を追求 ○Model 3002 マイクロズーム検査 →電動スーム顕微鏡検査機 ○Model 3003 マクロ検査 →縮小高解像検査 ●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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新技術の製造・開発をサポートする検査機の試作・自動機・オンライン機をあなたのアイデアとご希望に合わせ一緒に考え製作します。 受注製品のハード・光学系・ソフトの設計および製作メンテナンスからアフターサービスまで提供します。
