１枚からの成膜や異形サイズの基板への成膜も対応可能
PE-CVD成膜の受託加工を中心にスパッタ、イオンプレーティング、蒸着、 EB蒸着による成膜も行っております。 大口径基板への成膜も可能なターゲットもございますので、 お気軽にお問い合わせください。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特長】 ○１枚からの成膜が可能 ○異形サイズの基板への成膜も対応可能 ○樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能 ○メタルマスクを使用しての部分的成膜も可能 ○パターニング後の基板も投入可能 ○膜種によっては、Φ３００ｍｍ以上の基板対応が可能 ●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
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企業情報
大村技研株式会社は機械加工・高圧／特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計をおこなっている企業です。 当社の研かれた技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連、食品工場、各種製造プラント、薬品研究所、研究機関等、精密性・緻密性・安全性を厳格に求められる多くの業界で採用されています。 当社では“困ったときには大村技研”を合言葉に活動しております。常により柔軟・迅速・高度であること意識し、お客様に100％ご満足いただくことを追求しております。