試作開発に最適！半導体業界、液晶、燃料電池など多くの業界で採用されている大村技研の技術をお試しください！
KrFステッパーによる微細パターンウエーハを提供いたします。 パターンレイアウトはカスタム対応が可能です。 つなぎパターン、ダブルパターニングも可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
パターンサイズにつきましては、下記仕様以外にも対応可能ですので、ご相談下さい。 【パターンサイズ】 ○パターン寸法 →75nm 100nm 150nm 200nm ○パターン形状 →ライン＆スペース、ピラー ○ショットサイズ →4mm□ ○基板 →合成石英、シリコンウエーハ、など ○基板サイズ →Φ200mm ●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
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企業情報
大村技研株式会社は機械加工・高圧／特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計をおこなっている企業です。 当社の研かれた技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連、食品工場、各種製造プラント、薬品研究所、研究機関等、精密性・緻密性・安全性を厳格に求められる多くの業界で採用されています。 当社では“困ったときには大村技研”を合言葉に活動しております。常により柔軟・迅速・高度であること意識し、お客様に100％ご満足いただくことを追求しております。