非接触式の重金属汚染・CV/IV・膜評価装置。 鉄濃度測定の感度はDSPVを採用することでE8を実現！
世界に400台以上の実績を持つ非接触式の重金属汚染・CV/IV・膜評価装置です。 鉄濃度測定の感度はDSPVを採用することでE8を実現し、近年のCMOSイメージセンサーの歩留まり向上に寄与しております。 化合物半導体のCV測定が可能です。非接触で面内の濃度分布、プロファイル測定が可能です。
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基本情報
【特徴】 ■非接触CV/IVインライン測定 ■超高感度汚染管理（E8レベル鉄濃度測定） ■パタンモニター測定可能（SLモデル） ■PDM 【主な測定・評価項目】 ■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定（E8レベル） ■膜評価 - 電気的膜厚（CET/EOT) - フラットバンド電圧（VFB) - 界面準位等（Dit)の測定 - リークIV測定 - Epi抵抗率測定 - High-k評価 - Low-k評価
価格帯
納期
用途／実績例
■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定（E8レベル） ■膜評価 - 電気的膜厚（CET/EOT) - フラットバンド電圧（VFB) - 界面準位等（Dit)の測定 - リークIV測定 - Epi抵抗率測定 - High-k評価 - Low-k評価
詳細情報
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ドーパント濃度測定（NSD) 測定データイメージ
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企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。