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エッチング装置 ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

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最終更新日:2013年04月16日

株式会社二宮システム
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理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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エッチング装置 ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

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基本情報

【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施 ○板厚50μmのワークも搬送可能 【仕様例】 ○装置寸法(L×W×H) 15362 × 3000 × 1400 mm ○基板サイズ(有効幅) 600mm ○処理液 硫酸-過水系 ○搬送速度 0.06~6m/min ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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【用途】 ○銅表面の脱脂 ○銅表面の酸化皮膜除去 ○小径孔洗浄 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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◆FPC用 現像・エッチング・剥離装置/洗浄装置 ◆COF用 現像・エッチング・剥離装置/洗浄装置 ◆FPD(TFT/PDP)用 現像・エッチング・剥離装置/洗浄装置 ◆太陽電池用 洗浄装置 ◎ファイン化技術 ノズル配列、ノズル特性、オシュレーション、 圧力調整等、総合的に組み合わせて設計しなければファインは再現出来ません。 ◎薄板搬送技術 薄板をダメージ無く搬送するには、経験と実績が不可欠です。二宮システムでは創意工夫を加え、確実な搬送を実現しました。 ◎高信頼性 より高いレベルを目指して作られた装置は、お客様に安心してご使用頂けます。二宮システムは装置作りに手を抜きません。

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