小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。
50mm～100mm対応アライナ SAL2241シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルターを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 ○小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 ○小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め ○クリーン対策:スピンドル側に0.1μmのフィルターを装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 【仕様】 ○被搬送物：2インチ,3インチ,100mmシリコンウェーハ ○位置決め時間：センタリング:6sec ○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内 オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：限定反射型ファイバセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：ISOクラス2(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用 →モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 3A 正圧：0.15～0.5MPa 真空：-70kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。