他に類を見ない三次元成膜技術で、不可能を現実にします。
PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での処理も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○低摩擦係数で潤滑性に優れたDLC膜 ○低温処理が可能 ○樹脂、ゴム、アルミなどの低融点物でも処理が可能 ○超低応力DLC膜なので、厚膜DLCも可能 ○自己放電方式の為、ワーク形状を問わず成膜が可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
長年培ってきたパルス電源技術を応用し、 新開発の各種プラズマ制御用電源や 表面処理装置の開発で、必ず御社のニーズに お答えします。