気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「フロートチャックSAC型」
ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ・非接触ピンセット ・太陽電池ウエハ非接触搬送装置 ・ウエハチップ非接触搬送装置 ・レンズ非接触搬送装置 ・フィルム非接触搬送装置 ・プリント基板、FPC非接触搬送装置 ・不織布非接触搬送装置 ・エア浮上高精度検査テーブル ・シート枚葉送出装置
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基本情報
ソーラーリサーチ研究所が発明・開発したベルヌーイチャック「フロートチャック」は、 1.負圧発生機構には a.エゼクタ効果 b.ベルヌーイ効果 c.コアンダー効果 2.正圧発生機構には a.ホバークラフト効果 b..基体流クッション効果 を有しております。 上記 効果を効率よく発揮するように製作されております。 そのため 気体消費量が少なく効率よく稼働します。
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途/実績例
・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ・非接触ピンセット ・太陽電池ウエハ非接触搬送装置 ・ウエハチップ非接触搬送装置 ・レンズ非接触搬送装置 ・フィルム非接触搬送装置 ・プリント基板、FPC非接触搬送装置 ・不織布非接触搬送装置 ・エア浮上高精度検査テーブル ・シート枚葉送出装置
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を用いたウエハ、液晶ガラス基板、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。