排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。
ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 この新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する 回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気 が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。
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基本情報
新機能：周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。 ソ－ラ－リサ－チ研究所では、□5ｍｍウエハ～の微小ワークのチップ用ベルヌーイチャック「非接触クリーンチャック」を開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。 したがってクリーンルームにて仕様可能です。 ◎特徴 1. 周囲のチップを吹き飛ばさない。 2. 周囲に排気を噴出しない。 3. クリーンルームにて使用可能。 4．チップに傷、汚れを付着させない 5．チップにパッド跡をつけない。 ◎適応 ウエハ ウエハチップ 微小レンズ 微小ワーク
価格帯
納期
用途／実績例
1.クリーンルーム内非接触搬送 ウエハ、液晶ディスプレイ、レンズ 不織布 フィルム 2.シート送り出し装置 3．シート検査装置 4．不織布搬送装置 5．フロートチャック
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
