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書籍 MEMSデバイス総論【新装版】

最終更新日:2014年02月20日

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シュミレーションシステムから最新技術で製作されたデバイス、応用技術を解説

○発刊日2009年04月22日○体裁B5判並製本 301頁○価格(税込):33,000円+税 →STbook会員価格:31,350円+税 初版 2009年4月 本書は、2009年4月発刊「MEMSデバイス総論」 (ISBN 978-4-903413-65-5)の装丁および価格を改訂したものです。 内容は2009年の書籍と同じですので、ご購入時にお間違えないようご注意ください。 ○執筆者: 植田敏嗣 早稲田大学 浅海和雄 みずほ情報総研(株) 岩崎拓也 みずほ情報総研(株) 渡辺哲也 横河電機(株) 磯部良彦 (株)デンソー 菊池尊行 エプソントヨコム(株) 安田隆 九州工業大学 李丞祐 北九州市立大学 田中雅子 エプソントヨコム(株) 櫻井俊二 サイタイム(株) 橋本研也 千葉大学 田中秀治 東北大学 桑原啓 NTT(株) 添田富男 ノウルズ・エレクトロニクス・ジャパン(株) 澤田廉士 九州大学 杉山直 横河電機(株) 平等拓範 分子科学研究所 板谷和彦 (株)東芝 佐々木昌 オムロン(株)

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基本情報

○目次: 第1章 概要 第2章 MEMSデザイン   第1節 MEMS シミュレーションの現状  第2節 MEMS用設計・解析支援システムの構成と応用 第3章 圧力センサ  第1節 プロセス用圧力センサ  第2節 自動車応用圧力センサ  第3節 ジャイロ 第4章 バイオ,医療デバイス  第1節 マイクロ流体とその応用  第2節 バイオセンサ 第5章 携帯電話・通信  第1節 水晶振動子・発信器とMEMS技術  第2節 Si MEMS発振器  第3節 高周波メカニカルフィルタ  第4節 RF MEMS デバイス  第5節 MEMSマイクロフォン 第6章 光学機器  第1節 光MEMS  第2節 光分析 第7章 コンシューマ機器  第1節 家電へのMEMSデバイスの応用  第2節 医療機器へのMEMSデバイスの応用

価格情報

本体 33,000円+税 ※→STbook会員価格:31,350円+税

価格帯

1万円 ~ 10万円

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MEMSデバイス総論

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