トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。
ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。 サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。 貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。 【特徴】 ○最高温度 400℃ 対応 ○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能 ○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え ○OEM対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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【仕様】 ○温度制御範囲：室温～400℃ ○チャック面サイズ：φ6”mm ○温度精度：±1.5% ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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