【窒化アルミ AlN / アルミナ Al2O3など対応可能】世界のトレンドになりつつある新技術、固定砥粒方式！
新興製作所では世界のトレンドになりつつある固定砥粒工法での量産加工が可能！ 単結晶、多結品の2種類の材料で ソーラー用シリコンウェハーを固定砥粒方式(ダイヤモンドワイヤー)で製造しています。 現在、固定砥粒方式での歩留りは、 量産ベースで95%異常を達成し、400万枚/月以上のシリコンウェハーが製造されております。 【主な対応素材】 窒化アルミ AlN / アルミナ Al2O3 / サファイア /炭化ケイ素 SiC/ 銅 Cu/モリブデン Mo/タングステン W/銅モリブデン/銅タングステン/ 石英ガラス / ニオブ酸リチウム LiNbO3 / タンタル酸リチウム LiTaO3 / チタン酸バリウム BaTiO3 / ジルコニア ZrO2 /窒化ケイ素 Si3N4 / 超硬材(SK材)/ セラミックマトリックス複合材料 (CMC) ※詳細はPDFカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
※固定砥粒方式とは。 固定砥粒方式とは新技術として世界中で知られてきており、 今後、カーフロスの低減 薄板化など、シリコンウェハー製造に必要不可欠な技術になると予測されています。 弊社では、2008年に固定砥粒工法での量産加工に成功しました。 新興製作所では、 今後近い将来には史なる顧客の数最アップのニーズにも対応出来るよう、固定砥粒用に更なる増設を予定しております。
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企業情報
「磨く・切る」を専業とし、セラミックスをはじめ、結晶材料、ガラス、金属、樹脂まで幅広く各種難削材量の精密加工を主な事業とします。 ここ数年は特にSiC単結晶を代表とするパワー半導体分野、またあらゆる電子部品に必要とされる各種セラミックスの超精密加工に注力しております。 切る技術ではダイヤモンドワイヤーを用いた固定砥粒方式でのマルチワイヤー切断、磨く技術ではナノレベルの超鏡面研磨加工まで対応可能です。