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MOCVD装置 VEECO K465i G2用排気フィルター

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AIRYTECH

最終更新日:2014年10月14日

愛鋭精密科技(大連)有限公司(AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
愛鋭精密科技(大連)有限公司(AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
  • 公式サイト

MOCVD装置 VEECO K465i G2

中国製、世界中で実績があり、日本国内も大変実績があります。 アメリカ輸入濾過材使用、品質が保証。

    CVD装置その他半導体製造装置
K465iG2.png

MOCVD装置 VEECO K465i G2用排気フィルター

K465iG2.png
K465iG2.png
  • 関連リンク - http://www.airytech.com/en/index.html

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基本情報

VEECOフィルターシリーズ製品はVEECO MOCVD装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカRAND社の高級耐高温不織布と中国産SUS304を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G2 シリーズは2回ろ過プロセスを採用、ろ過チャンバーの長さを十分利用できる。 アメリカから輸入したガラス繊維ろ紙を使用、隙間分部が均一、ろ紙厚く、透過性よく、差圧低く、MOCVD装置の保護機能もある。 優れる強度があり、耐高温、耐食性、MOCVDの排気ろ過環境に最適。 1、寸法: 高さ:322mm, 内径:233mm,外径:359mm 2、Oリング: 内径:270mm,外径:340mm。 3、ろ過精度:粗いろ過100um,微細ろ過25um,全体ろ過効率15um@98%。 4、有効ろ過面積:粗いろ過3.456m2,微細ろ過3.456m2,1セット全体ろ過面積6.912 m2 5、適用温度:<400℃。 6、包装:1本粗いろ過+1本微細ろ過 交換周期:40days

価格帯

1万円 ~ 10万円

納期

~ 1ヶ月

用途/実績例

MOCVD VEECO装置用

企業情報

愛鋭精密科技(大連)有限公司(AIRY

愛鋭精密科技(大連)有限公司(AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

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電話番号・住所

愛鋭精密科技(大連)有限公司(AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.)は中国大連に居り、中国国内電子半導体、LED、有機EL、バイオなどの先端科技市場に向け、日本、韓国、米国などの先進技術、製品を紹介販売しながら、中国産の廉価、高品質工業原材料、完成品を厳しい品質基準で日本、韓国、ロシア、アメリカなどの工業先進国に販売しております。

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