ビューラー・ライボルトオプティクスの光学用スパッター装置
HELIOS（ヘリオス）は、高品質な光学膜製作用に開発されたスパッター装置です。特に低吸収・低分散が求められる多層フィルターの製造に適しています。HELIOSシリーズは400と800（基板サイズ）の2タイプをご用意しています。
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基本情報
【特徴】 ・PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering)プロセス技術を用い、アーキングのない高レートで安定した製膜を実現。 ・MF（中周波）電源を用い金属酸化膜、窒化膜を製膜。 ・膜厚制御はダイレクトモニターリング方式による高精度な制御が可能。 ・200層以上および20ミクロン厚の多層膜厚のフィルターが作成可能。 ・Co-Sputtering技術により中間屈折率のチューニングが可能。 その他詳細はお気軽にお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
ビューラーは、世界の安全な食料供給に貢献し、気候変動に取り組み、自動車や建物、 機械のエネルギー効率を高めるためのソリューションを開発しています。 食品およびモビリティ産業のソリューションパートナーとして、 お客様のバリューチェーンにおける消費エネルギー、廃棄物、水の使用量を2025年までに50％削減する目標をかかげています。 ■ビューラーグループ沿革■ 1860年 創業者アドルフ・ビューラーがウッツヴィル（スイス）に鋳造工場を設立 1872年 穀物の製粉に使用するロールミルに初めて鋳造ロールを採用 2020年 グループ創業160周年を迎える ■ビューラー株式会社沿革■ 1974年 日本法人設立 2007年 地域製品開発研究センター（RADEC)を開設 2017年 RADECを北関東サービスステーション内に移設 ■事業本部■ グレインズ&フード（穀物、食品および飼料向け加工・製造プロセス） コンシューマーフーズ（チョコレート、焼き菓子、コーヒー、ベーカリー製品などの加工・製造プロセス） アドバンストマテリアルズ（湿式粉砕、ダイカスト、光学薄膜製造ソリューション）