立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
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基本情報
【特長】 ●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能 ●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能 ●コーティング液の利用効率が高い（従来スピンコートの数十倍程度） ●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能 ●高メンテナンスを実現 【仕様】 ●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ （他形状にも対応） ●ロボット搬送方式 ●特殊スプレー方式
価格情報
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納期
用途／実績例
●MEMS ●SAWデバイス ●加速度センサー ●磁気ヘッド ●水晶デバイス ●圧力センサー ●インクジェットヘッド ●導波路 ●サーマルヘッド ●プロジェクター素子 ●その他
企業情報
コーティング技術と特殊テクノロジーで未来に貢献します。技術革新に主眼を置き、現在、つくば産業技術総合研究所様、横浜国立大学様、山梨大学様、信州大学様、神奈川産業技術センター様と技術連携をしております。企業の特殊コーティング試作、プロセス開発、コンサルタントをはじめ、数々の研究＆開発テーマで活動をしております。提案内容は、新規機能、研究開発時間の短縮、品質、機能アップ、開発コストの削減を目的としています。周辺技術と共にソリューションでご提案しご好評を頂いています。研究テーマ・開発テーマ・検討テーマがございましたら、ご連絡をお待ち申し上げております。