多くのお客様からのご要望にお応えして2300枚に及ぶ数量を手がけてきました
現在行われているハーフトーンマスクは一度マスク化された基板の上にハーフトーン膜を形成し、更にパターニングして作られます。 このようにハーフトーン膜がCr膜の上側に存在するタイプはトップ型ハーフトーンマスクと呼ばれています。 CSTハーフトーン膜は2002年よりトップ型のハーフトーン膜として実際の工程に使われ始めました。 以来、多くのお客様からのご要望にお応えして2300枚に及ぶ数量を手がけてきました。 【CST ハーフトーンシリーズ】 ○FHTシリーズ（フィルムタイプ：Pure Cr） →basic material transmission tolerance：1％以下 ○HTシリーズ（フィルムタイプ：CrOx） →basic material transmission tolerance：Δ5％～Δ10％以下 ○PSシリーズ（フィルムタイプ：CrOx） →basic material transmission tolerance：Δ5％～Δ10％以下 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【CST ハーフトーンブランクス膜構成】 ○Binary(CrOx)：300Å ○Binary(Cr) include barrier layer(80Å)：950Å or 700Å ○ES：100Å ○HT layer depends on its transparent rate or HT type：1140Å →Phase Shift layer(CrOx) λ=365nm T=5% ○QZ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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CST株式会社(旧:クリーンサアフェイス技術株式会社) 会社案内
ハーフトーンマスク「CST ハーフトーンシリーズ」
企業情報
１９７７年４月に国内初のマスクブランクス専業メーカーとしてスタートしました。 設立当初の半導体用マスクブランクスからＦＰＤ用マスクブランクス、ハーフトーン膜まで事業内容を時代に先駆け拡大して参りました。 また、品質向上に対するお客様からのご要望を受け、高精細マスクに対応する新しいブランクスを開発いたしました。 今後も、さらなる品質のレベルアップとお客様のニーズに応える新しい製品の開発に努め、 満足していただけるよう社員一丸となり全力を尽くしてまいります。 また、良き企業市民として弊社は、持続可能な社会の創造に向けて地域社会・国際社会の一員としての社会的責任を果たしてまいります。