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油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

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最終更新日:2015年06月19日

株式会社昭和真空
株式会社昭和真空
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環境対策・電気代削減に役立ちます。

「ECO-22」は昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22インチ)に簡単に取り付けられる省電力ユニットと断熱ジャケットです。ECO-22を用いることで、排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減が可能になります。 【性能】 油拡散ポンプ2本搭載装置(SGC-1300シリーズ)の場合、ECO-22を用いると、1本で1.7kW,2本で3.4kWhの電力量削減が可能となります。 同システムを年間300日稼動(24時間)使用した場合、24480kWhの電力量が削減可能で、電気料金1kWh当り10円とした場合、24万4800円の電気料金の削減が可能となります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

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基本情報

【特徴】 ○特許出願済 ○昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22inch)に簡単に取付可能 ○省電力ユニットと断熱ジャケットのセット ○排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減に役立つ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22インチ) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置(真空装置)を製造販売しております。

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