電磁スキャナー式（特許取得済み） ダメージレスで非破壊で測定可能 低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します
初心者でも正確な測定が可能です！ サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します ・スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより 基板を移動させることがありません ・一般にAFMに使用されているピエゾ素子を使用しておりませんので 非線形クリープ、経年変化はありません ・ダメージレスで非破壊で測定可能 ・AFM用カーボンナノプローブ（高分解能・長寿命） 【ソフトアプリケーション】 ・微細線幅測定 ・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定 ・石英ガラス表面検査 ・マスクパターン測定 ・研磨、CMP後の表面検査評価 ・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定 ・ハードディスクの磁気フィールドの観察 ・フィルム表面検査 ・高精度金型の表面解析 ・光学部品、精密部品の評価
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基本情報
初心者でも正確な測定が可能です！ サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します ・スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより 基板を移動させることがありません ・一般にAFMに使用されているピエゾ素子を使用しておりませんので 非線形クリープ、経年変化はありません ・ダメージレスで非破壊で測定可能 ・AFM用カーボンナノプローブ（高分解能・長寿命） 【ソフトアプリケーション】 ・微細線幅測定 ・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定 ・石英ガラス表面検査 ・マスクパターン測定 ・研磨、CMP後の表面検査評価 ・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定 ・ハードディスクの磁気フィールドの観察 ・フィルム表面検査 ・高精度金型の表面解析 ・光学部品、精密部品の評価
価格帯
納期
用途／実績例
【測定検査例】 ・ICパターン ・SIウエハ ・バイオチップ ・GaNウエハ ・量子ドット ・そのほか、多数の測定事例 【装置仕様】 高分解能仕様 1.最大走査レンジ ：10μm 2.最大Zレンジ：1.8μm 3.Z方向分解能 ：0.027nm 4.XY方向分解能：0.15nm 5.非線形性：<0.6% 6.ノイズレベル：0.04nm 広域走査仕様 1.最大走査レンジ：110μm 2.最大Zレンジ：22μm 3.Z方向分解能 ：0.34nm 4.XY方向分解能：1.7nm 5.非線形性：<0.6% 6.ノイズレベル：0.3nm
企業情報
設計ノウハウ、受託・製造パートナーをもつ""技術商社""ならではの製造装置販売、提案、サービスを提供しています。 お客様のニーズに合わせた最適な選定で、実験・開発を行い実績を積んで参りました。常に新たな革新的技術、応用技術を開発して参ります。 装置販売・受託レンタル事業・消耗部品販売をトータルした付加価値の高い提案を行います。