試料にダメージを与えず、コンタミなしで真空チャンバーと試料をクリーニング致します。
電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去致します。試料へのダメージやコンタミは発生致しません。 プラズマの強度をモニタリングして自動で圧力等を制御できます。
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基本情報
■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。 ■プラズマの発光がモニタリングできます。 ■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。 ■自動でガス流量を制御可能。
価格帯
納期
用途／実績例
電子顕微鏡 SEM,FIB,TEM,EBL,CD-SEM,EBR,EUVL, ALDや高圧チャンバー
詳細情報
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クリーニング前 プラズマクリーナの使用前で、コンタミに汚染させております。
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クリーニング後 プラズマクリーナでクリーニング後の写真です。 コンタミは、完全に除去されております。
企業情報
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。