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【半導体製造機械に採用事例◎】耐薬品性フッ素樹脂コーティング

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最終更新日:2026年03月19日

株式会社シャイン工芸
株式会社シャイン工芸
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半導体の製造工程で使用される様々な機械部品に、非粘着性・絶縁性・耐薬品性をフッ素樹脂コーティングでご提案します

半導体製造では洗浄工程が非常に重要な位置付けとされています。 微細なゴミなどを薬液を用いて、精密洗浄が行われます。 半導体の高性能化に伴い洗浄精度も高くなり、薬品に対する耐性もより高い水準が求められます。 シャイン工芸は長年、半導体製造機械への機能性コーティングに取り組んできました。 高品質・高精度のフッ素樹脂コーティングで、半導体製造機械のトラブルを解消します。

    その他半導体製造装置表面処理受託サービス
半導体スクエア.jpg

【半導体製造機械に採用事例◎】耐薬品性フッ素樹脂コーティング

半導体スクエア.jpg
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●耐薬品性 ●絶縁性 ●非粘着性

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●ウエハ洗浄ターンテーブル ●チャックアーム ●ウエハ揺動治具 など

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シャイン工芸は、奈良県大和郡山市にある各種機能性コーティングメーカーです。 1971年の創業以来、フッ素樹脂コーティングを行ってきました。 調理機械向けの非粘着コーティングや、プラント設備への耐蝕性コーティングなどがその代表格です。 フッ素樹脂コーティング以外にもセラミックコーティングの加工実績も多く、『セラアーマー』は調理機械や産業部品など幅広い業界の様々な機械・設備で非粘着性や滑り性を発揮しています。 また耐蝕性フッ素樹脂コーティングである『ブルーアーマー』は、半導体製造機械やプラント配管などで使用され、様々な腐食成分から母材を保護しています。 もちろん量産品や大型品にも対応できる設備を有しています。 また海外でもベトナムのグループ会社にて各種コーティングを行っており、現地日本企業様などから多くのご依頼をいただいています。 シャイン工芸は機能性コーティングで、皆様の課題・トラブルを解決に向けて併走します。

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