・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 ロボットのみで2FOUP対応可能 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
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基本情報
ロボット型式GCR4210SN-300-CM 被搬送物～300mm ウェーハ ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式水平多関節型制御軸4軸 モータタイプステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 760mm335度300mm 搬送速度アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 730mm/sec240度/sec200mm/sec 繰り返し精度±0.1mm以内 クリーン度ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時） ユーティリティ電流電圧：DC24V±10% 15A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合) 質量ロボット本体 約26kg
価格帯
納期
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用途／実績例
半導体搬送装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。