静電塗布装置
『MM小型卓上PDR-04』は、実験室で手軽に静電塗布処理が可能な装置です。 静電塗布は、 「高粘度溶液(Max数万cp)の薄膜形成が可能」 「高効率塗布 溶液の使用効率90%以上」 「凹凸面への均一な成膜が可能」 「粒子径や粒子方向性の制御が可能」 などの特長があります。 小型卓上タイプ試験装置にて成膜処理実験が可能となります。 【特長】 ■スペースを取らない小型卓上タイプ ■精密な塗布試験が可能 ■安全な作業 ■クリーン環境での試験が可能 ■各種オプション設定 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■装置外寸:400(W)*500(D)*620(H) ■装置構造:約30kg Hepa搭載ダウンフロー、ドラフト構造 ■静電用電源:別置きタイプ、MAX20kV ■塗布エリア:4インチウエハーサイズ ■制御方式:PLC制御 ■塗布溶液:絶縁材料、導電性材料、各種レジスト etc ■ワークセット:手動(手置き) ■稼働ノズル:ステッピングモータ(XY駆動)、Z軸手動 ■処理レシピ入力:タッチパネル入力 ■液供給:10mlシリンジ ■ノズル:シングルノズル(内径φ100μm~φ1000μmまで各種) ■安全性:扉インターロック、即止回路(感電防止) ■ユーティリティ ・電源:AC100V, 15A ・N2またはAir:0.1MPa~0.6Mpa ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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