1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。
各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 各種ウェハに対応 ◇ 異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
＜ 洗浄工程 ＞ ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄 ・ 薬液スプレー ・ メガソニックスポットシャワー ・ スピン乾燥 ＜ 洗浄対象物 ＞ 各種ウェハ ・ Si(シリコン） ・ 石英 ・ 酸化物 ・ 化合物等 ＜ 対応ウエハ口径 ＞ ・ φ2”～φ4” ・ φ6”～φ8” ＜ その他 ＞ 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種ウェハー洗浄
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社テクニカルフィットでは、お客様のご要望・ご予算に合わせ、各種洗浄装置、粒子・スペーサーの散布・分散装置、静電気除去装置、検査装置をご提案いたします。液晶・半導体・自動車・食品・医療関係など業種を問わず、ご相談ください。
