シリコンウェーハ内部の結晶欠陥ボイドを自動で検査！
アイビットの『X-CAS-2』は、X線を用いてシリコンウェーハ内部の 結晶欠陥であるボイドを自動で検査する装置です。 X線による検査方式を採用することで、ウェーハの抵抗値に関係なく また、研磨前の状態（スライス直後）であっても検査が可能。 検査対象シリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチで、 オプションで6インチを追加することができます。 【特長】 ■シリコンウェーハ内部のボイドを自動で検査 ■ウェーハの抵抗値に関係なく検査可能 ■研磨前の状態でも検査可能 ■12インチ、8インチ、オプションで6インチのシリコンウェーハが検査対象 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
i-Bit の i はintelligence（情報）、image（映像、画像）など、私たちが日ごろ受け取る情報を総称して i と表しました。 そして Bit は二進法で用いる数字。すなわち"0"と"1"でありコンピュータで処理する単位です。 私たちは i を受け取り Bit を用いて社会に貢献していこうと考えています。