１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能！省スペースなので研究開発に好適
各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ4” φ6”～φ8” ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
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企業情報
株式会社テクニカルフィットでは、お客様のご要望・ご予算に合わせ、各種洗浄装置、粒子・スペーサーの散布・分散装置、静電気除去装置、検査装置をご提案いたします。液晶・半導体・自動車・食品・医療関係など業種を問わず、ご相談ください。