電子線用・レーザー用レジストなどを塗布した半導体集積回路！
『ハードマスクブランクス』は、主に石英やソーダライムと言ったガラス 基板上に、クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成し、 感光性材料(電子線用、レーザー用レジストなど)を塗布した製品です。 低反射クロムマスクブランクスとハーフトーン型位相シフトマスク ブランクスがあり、リソグラフィー用原版として、LSIの製造に 用いられるマスクに使用されます。 【特長】 ■クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成 ■感光性材料を塗布した ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【関連製品】 ■低反射クロム膜マスクブランクス ■ハーフトーン型位相シフトマスクブランクス ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■LSIの製造に用いられるマスク ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
アルバック成膜株式会社は、真空の総合メーカーとしてお客様にソリューションを提供し続けている株式会社アルバックのグループ企業です。これまで、真空技術を生かした材料加工のリーディングカンパニーとして発展してまいりました。当社の半導体用ハードマスクブランクスやディスプレイ等用大型マスクブランクスは半導体や液晶ディスプレイの分野の飛躍的な成長を支えております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。