裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に！テープ貼り付け後外周カットが可能な自動装置
『フルオートBGテープラミネーター』は、表面保護を目的とした バックグラインド用テープを貼付け後、外周カットが可能な自動装置です。 貼付けには独自のローラー構造を採用することで、 テープへのテンションがほぼ無い状態での貼付けが実現しました。 裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に威力を発揮します。 【特長】 ■テンションコントロールしながら外周カットが可能 ■裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に ■低テンション貼付け ■高精度外周カット ■ハイバンプテープ対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【その他の特長】 ■300mm/200mm ウエハ対応 ■静電対策 ■SECS通信対応（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
大宮工業株式会社は、精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の 製造・販売及び回転機器メンテナンスを行っております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。