0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能
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基本情報
機能 くさび型のプレート&受け（特許取得のウェッジシーリング）により、圧力差があっても開け閉め可能です。O-リングがデポ物を掻き取るため、リーク量を低減いたします。 頑丈 1. 真空に触れる大部分はステンレススチールです 2. 真空中にグリースの使用箇所および可動部品がありません 容易なメンテナンス 1. 特殊な工具は必要ありません 2. 滑らかな表面でクリーニングが簡単にできます 3. クリーニング後、再度潤滑油を塗る必要はありません 4. クリーニング後、再調整は必要ありません 5. 低価格帯の消耗品のみ交換となります
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用途／実績例
電子部品、光学産業、理化学機器、電機機器、エネルギー、金属材料加工、医薬・医療、機械工業、化学工業、宇宙工学、食品工業、事務機械、輸送、車両・航空、繊維、その他
ラインアップ（13）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 09134-KE01/CE01/UE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 09136-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 09138-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 09140-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 09144-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 09146-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル式 |
| 09148-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル式 |
| 09134-KE14/CE14/UE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 09136-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 09138-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 09140-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 09144-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 09146-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。