真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！
【特徴】 ・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 ・低温で低エネルギー照射が可能 ・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 ・超硬工具用保護膜（c-BN） ・食品用バリア膜（アルミ） ・太陽電池用下地膜（アルミ） ・光学用フィルタ膜（ZrO₂、AI₂O₃等） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
装置販売だけでなく、成膜受託もお受けしております。 試作作成も可能です。ワークとご要望をお聞かせください。 【成膜スペック】 ワークサイズ：Φ100～300mm（不定形・円筒も可能） 層形成：単層膜、多層膜可（MAX4層） パターン蒸着：メタルマスク対応（オプション） 【適応膜】 高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
世界最先端の液相（ウェット）＆気相（ドライ）コーティングス技術で社会のニーズに応えます。 大学、企業と連携し多様な先端シーズの獲得を目指し、市場ニーズの的を射貫き、新市場を創出して科学の進歩と世界に貢献することです。