基板上にマスクを重ね露光すると樹脂支柱が立ち、メッキすると逆形状の穴ができます
・露光の際に使用するフォトマスクの設計により 任意の穴形状にする事ができます ・フォトマスクを設計の際 光が通過するパターン部をネガにするかポジにするかで 同じ形状の穴になったり微細部品にすることができます ・数10μｍの板厚に高精度な微細穴を『狭ピッチで 加工』することは他の工法では不可能です
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企業情報
株式会社セムテックエンジニアリングは、エレクトロフォーミング(電鋳) 技術による超微細加工や超高精度ふるい、超高精度微細金型の開発・ 受託製造などを行っております。 エッチングでは不可能な超高アスペクト比技術を得意としておりますので ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。