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焼結ダイヤモンドの研削 加工事例

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最終更新日:2018年09月20日

日本エンギス株式会社
日本エンギス株式会社
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PCDの高速高圧研磨を実現!高速高圧研削加工

今後の市場拡大が予想されるSiC(シリコンカーバイド)、 GaN(ガリウムナイトラ)、PCD(焼結ダイヤモンド)などの基板は 硬く脆い性質を持った研磨加工の難しい素材です。 その中でも、特に加工の困難な焼結ダイヤモンドの 研磨を実現した加工事例をご紹介いたします。 【研磨結果】 ■表面粗さ<3nm ■加工時間4時間(従来の方法での加工時間10時間) ■高速高圧研磨装置『EJW-400HSP』と  固定砥石 『MAD Plate』を使用することで  6時間の加工時間の短縮を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    ウエハ加工/研磨装置基板加工機その他研磨材
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焼結ダイヤモンドの研削 加工事例

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  • 関連リンク - http://www.engis.co.jp/
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基本情報

【採用装置仕様】 ■材質/寸法:焼結ダイヤモンド( PCD )/ 外径 65mm ■用途:切削工具、耐摩耗部品アンビルスクライバー 等 ■要求精度:表面粗さ<5nm 加工時間の短縮(現状10時間) ■装置型式:EJW-400HSP ■装置仕様:高速および高圧ラッピング仕様 ■研磨方法:固定砥石 MAD Plate 加工熱温度制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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当社は、米国及びヨーロッパ各国のエンギス姉妹会社が長年蓄積してきた ダイヤモンド・ラッピングのノウハウを基礎とし、常に斬新適確な最先端の ラップ・テクノロジーをお客様に提供することをモットーにしております。 私共全スタッフは、より高精度、高品質のラッピング・プロセス技術をお求めのお客様を心よりお待ちしております。

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