基板へのダメージを60%以上低減！低ダメージ性を維持したまま成膜速度を向上
『RAMフォース』は、プラスティックフィルム上へ光学膜やメタル等の 多層成膜をすることができるロールtoロールスパッタリング装置です。 RAMカソード（低ダメージカソード）の性能評価ばかりでなく、 ラボの条件下で自分のアプリケーションをテストし、パイロットラインから 量産ラインへと展開することができます。 【特長】 ■特許取得 ■基板へのダメージを60%以上低減 ※従来の平板式スパッタリングとRAMカソードとの比較 ■成膜速度を3倍以上向上 ※従来の対向式スパッタリングとRAMカソードとの比較 ■京浜ラムテックの独自技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
京浜ラムテックは1972年に創業し、 液晶・半導体製造装置業界・自動車業界でも信頼されるメーカーとなりました。 弊社では、継続的な技術開発は、全社員の任務と考えております。 京浜ラムテックの持つ独自技術は、あらゆる産業の中核技術として利用されております。 今後更なる発展が期待される独創的な技術を開発・提案し続けるProposerとして お客様の更なる発展に貢献致します。