熱ダメージを抑えた高品位な微細加工を実現。難削材やセラミックスなどの脆性材料、ガラス、フィルムの加工にも好適。
超短パルスレーザー加工とはパルス幅の短いレーザー(ピコ秒、フェムト秒等)を用いて微細加工する加工法です。 超短パルスレーザーは熱影響が少なく、高品位な仕上がりになります。材質がセラミック、ガラス、シリコン、フィルムといった脆性材料に対しても高品位な仕上がりを実現します。 その他、独自のテーパー角制御機能で、任意の孔形状を高精度に加工することができ、お客様の要望に合わせた加工ができます。 特長 当社の超短パルスレーザー加工には、下記の特長があります。 フェムト秒レーザーを用いた非熱加工でバリやマイクロクラックの低減された高速加工難削材金属やセラミックス・ガラス・シリコン等の加工の難しい材質を高品位に加工できます。 テーパー角制御による加工で、任意の形状加工を実現ストレート孔や、逆テーパーの加工、丸以外の形状の孔を加工できます。 大ステージによる大きなワークの加工が可能（最大ワークサイズ：□500mm）ステージに吸着する用途など、大きなワークに微細で精度の高い加工をしたい要望にもお答えできます。 ※加工事例を紹介したサービス紹介資料を＜PDFダウンロード＞よりご覧いただけます。
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基本情報
【超短パルスレーザー加工の原理】 超短パルスレーザー加工は高いピーク出力を短時間に作用させることで、加工表面を分解・蒸散（アブレーション加工）させる加工法です。 熱加工のような材料の溶融・除去とは異なり、熱損傷の少ない加工が実現できるため高品位な仕上がりになります。 【加工仕様】 最小孔サイズ：ストレート孔 φ25μm(※テーパー・逆テーパーなどにも対応) 加工面粗さ ：Ra0.1μm以下 加工孔精度 ：±10%以下 加工厚み ：0.7mm（当社実績） アスペクト比：7倍（ストレート孔による実績） 当社では他にも、長年培った精密微細加工技術（機械加工、放電加工、研削・ラップ加工）や金属3Dプリンターを組み合わせ、貴社の課題解決をサポートします。 製品の仕上げでお困りの方は、お気軽にご相談ください。
価格情報
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納期
用途／実績例
用途例 主な開発・展開用途として、下記が挙げられます。 整流用フィルタ（気体・液体等） フォトリソ向けマスク用金型 半導体製造検査治具 医療向け部品、治具 各種ノズル 吸着用途治具 コリメータ、等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳細情報
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超短パルスレーザー加工の仕上がり
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企業情報
精密微細加工技術は、現代の先端産業を支える共通基盤技術としてますます重要視されております。 東レ・プレシジョン株式会社は、1955年の創立以来、合成繊維製造のキーテクノロジーであります紡糸用口金を製造し、 日本及び欧米を含む世界の合繊メーカーに提供することにより合繊業界の発展に貢献してまいりました。 一方でこの間に培った精密微細加工技術の経験と技術は他の産業分野にも幅広く生かされております。 精密加工部品は航空機、産業ロボット、計測制御機器等の重要な部分に組み込まれており、 また独自で開発し設計・製作した流体用特殊ノズルは各種産業機械の重要なコンポーネントとしてその機能を十分に発揮しております。 サブミクロン単位を誇る超精密微細加工技術は、高度情報化社会を実現するために不可欠の光通信分野にも生かされています。 フェルール、アダプター等の光部品に加え各種光デバイスの商品化も行ってきました。 このように超精密微細加工技術のパイオニアとして、今後とも高精度、高品位の製品を送り出すことにより社会に貢献いたします。