フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェットレスで実現 サンプルデモ対応 リフロー動画掲載
ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー フラックス塗布、洗浄工程 塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。
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基本情報
チャージアップダメージフリープロセス。 信頼性の高い安定した搬送機構 均一な温度分布による３００ｍｍウェハ面内のリフロー温度プロファイル ３００ｍｍウェハの本格量産ラインに対応。各種上位通信、ＳＭＩＦポッド等規格対応。 テストから設計、納入、立上まで一貫したチームサポート
価格情報
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納期
用途／実績例
ウェハバンプリフロー 大型基板上微細バンプリフロー ３００ｍｍウェハ枚葉式低温アニール
詳細情報
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プラズマリフロー装置工程削減効果イラスト
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印刷バンプ対応イラスト
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| バッチタイププラズマリフロー装置 | ３００ｍｍウェハ対応のバッチタイプ 最先端プロセスをニッチデバイスに展開。Ｒ＆Ｄおよび少量生産用 |
カタログ（3）
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企業情報
神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。
