搬送の難しい特殊ウェハも各種ユニットを開発してきたアテルが解決します！
パワーデバイスやMEMS 等で使われるデバイスは特殊なものばかり。 扱いが難しかったり、各種センシングの難しいデバイスが多いです。 当社は、これらの「特殊ウェハを確実に搬送する事こそ使命」と考え「割らない」のは当たり前、「ウェハ周辺だけハンドリング」といった特殊なご要望も実現した各種ユニットを開発。 そのため当社は、扱いが難しい、特殊ウェハであるタイコウェハ、80μm 以下の薄ウェハ、15mm 以上反ったウェハ、SiC ウェハ、石英ウェハなどに自信を持って「対応できると」断言します。 【対応特殊ウェハ】 ■タイコウェハ ■80μm 以下の薄ウェハ ■15mm 以上反ったウェハ ■SiC ウェハ ■石英ウェハ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■特殊ウェハの搬送・検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。